设备品牌：J.A.Woollam

型号：RC2 D

主要技术参数：

波长：193-1000nm

样品台：200mm×200mm

主要用途：

用于测量光刻胶、SiO2、SiNx、ITO等各类薄膜的光学常数n&k和薄膜厚度。