设备品牌：Filmetrics

型号：F50-UVX

主要技术参数：

波长：190-1700nm

膜厚测量范围：10nm-100um

样品尺寸：8寸及以下

主要用途：

用于测量光刻胶、SiO2、SiNx、ITO等各类薄膜的反射率和薄膜厚度mapping。