设备品牌：E+H Metrology

型号：MX 608

主要技术参数：

测量原理：涡流非接触测量（电阻率），电容法（厚度）

电阻率范围：1 mΩ•cm-200 Ω•cm

方块电阻：1mΩ/sq-4000 Ω/sq

样品台：200mm×200mm

主要用途：

用于测量SiC，Si衬底厚度/TTV及电阻率、金属薄膜电阻率/方块电阻。