单点晶圆厚度 电阻率测试仪 MX604

产品名称：晶圆厚度/电阻率测试仪

品牌：E+H Metrology

型号：MX604-ST

关键词：电阻率，厚度

一、简介

德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。厚度和电阻率测量仪组合，MX604-ST配置了同时测量厚度和电阻率的传感器，用于2“ 至 200mm 的晶圆电阻率和厚度测量。

二、技术规格

晶圆直径：50-200 mm

厚度范围：250-750 μm

厚度准确性：±1 μm

探头直径：20mm

有效区域：8 mm Ø

测试时间：0.3s

方块电阻：10-2000Ω/sq

电阻率范围：

0.25 – 50 Ohm•cm (thk.= 250μm)

0.75 – 150 Ohm•cm (thk. = 750μm)

三、应用

用于硅片及SiC等晶圆的厚度和电阻率测量。