单点膜厚仪 SR-C

产品名称：膜厚仪

品牌：颐光Eoptics

型号：SR-C

关键词标签：膜厚仪、反射率、n&k

一、简介

SR-C 系列紧凑型高精度反射膜厚仪，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

二、技术规格

测量参数：反射率、膜厚、n&k等参数

波长：380-1000nm（可扩展190-1650nm）

分辨率：<0.8nm@240-1000nm，<3.5nm@1000-1700nm

膜厚范围：15nm-70μm

单次测量时间：<1s

重复性测量精度：<0.02nm

测量精度：0.2%或2nm取较大值

光斑尺寸：标准1.5mm

样品台尺寸：标配6寸（12寸可选）

三、应用

广泛应用于各种介质膜、光刻胶等有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。