全自动膜厚仪FLMS系列

FLMS系列全自动膜厚仪

一、简介

FLMS系列利用反射干涉的原理进行无损测量，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时高精度XY位移台，配置自动上下料模块可以6/8/12寸样品进行快速扫描，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对于膜厚均匀性做出评价。

二、技术规格

测量参数：反射率、膜厚、n&k等参数

测头：可见380-1000nm，红外1270-1350nm

膜厚范围：15nm-500um

测量时间：单点1s

重复性测量精度：<0.05nm

测量精度：0.2%或2nm取较大值

光斑尺寸：可见光斑1.5mm，红外30um

相机：可选，升级相机组件实现图案化晶圆膜厚测量

轮廓测量功能：干涉测量模块、高深宽比测量模块（选配）

样品尺寸：6/8/12寸

三、应用

广泛应用于各种介质膜、光刻胶等有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜厚度mapping及均一性测量。