台阶仪CP200
产品名称：台阶仪
品牌：Chotest
型号：CP200
关键词标签：台阶仪，探针式轮廓仪
一、简介
台阶仪CP200是Chotest公司拥有自主产权的一款国产化先进微纳测量仪器，仪器采用亚埃级分辨率的LVDC位移传感器、超低噪声信号采集、超精细的运动控制、标定算法等核心技术，具有优良的使用性能。
1、出色的重复性和再现性，满足被测件测量精度要求。线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至1000微米台阶的形貌特征。
2、超微力恒力传感器： 1-50mg可调（可扩展到更小测力）。
3、超平扫描平台。
4、顶视光学导航系统，5MP超高分辨率彩色相机。
5、全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动θ转台。
6、完善强大的数据采集和分析系统。
二、技术规格
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技术测量 |
探针式表面轮廓测量 |
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样品观测 |
光学导航摄像头：500万像素高分辨率 彩色摄像机，FoV，1700*1400μm |
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探针传感器 |
超低惯量，LVDC传感器 |
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测量力 |
1-50mg可调（可选更小测力） |
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探针选型 |
探针曲率半径2μm，夹角60° |
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平台移动范围X/Y |
电动X/Y（100mm*100mm）（可手动校平） 电动X/Y（150mm*150mm）（可手动校平） |
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样品R-θ载物台 |
电动，360°连续旋转 |
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单次扫描长度 |
55mm |
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最大样品厚度 |
50mm |
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载物台最大晶圆尺寸 |
150mm（6寸），200mm（8寸） |
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台阶高度重复性 |
5 Å（测量1μm台阶高度，1δ） |
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传感器量程 |
330μm/1mm |
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垂直分辨力 |
分辨力＜0.01 Å（量程为13um时） |
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扫描速度 |
2μm/s-10mm/s |
三、应用
台阶仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备。
用于测量台阶高度、粗糙度、纹理、翘曲和形状等。
