KLA四探针探头
| 4PP-TypeA | 4PP probe with 1mm spacing, 40um tip radius, 100gm. 适用于金属测量。 | |
| 4PP-TypeB | 4PP probe with 1mm spacing, 100um tip radius, 100gm.适用于一般用途的离子注入测量。 | |
| 4PP-TypeC | 4PP probe with 1mm spacing, 200um tip radius, 100gm. 适用于注入/高阻抗表面测量。 | |
| 4PP-TypeD | 4PP probe with 1mm spacing, 500um tip radius, 100gm.适用于复杂注入/高阻抗表面测量。 | |
| 4PP-TypeE | 4PP probe with 1.6mm spacing, 40um tip radius, 200gm. 适用于基板/基底材料测量。 | |
| 4PP-TypeF | 4PP probe with 0.625mm spacing, 40um tip radius, 100gm. 适用于金属测量。 | |
| 4PP-TypeG | 4PP probe with 0.6mm spacing, 100um tip radius, 100gm. 适用于一般用途的离子注入测量。 | |
| 4PP-TypeH | 4PP probe with 0.6mm spacing, 200um tip radius, 100gm.适用于注入/高阻抗表面测量。 | |
| 4PP-TypeI | 4PP probe with 0.6mm spacing, 500um tip radius, 100gm. 适用于复杂注入/高阻抗表面测量。 |
适用于KLA RS35/55/75/200, R50/54系列四探针测试仪