Zygo NewView 9000系列光学轮廓仪

产品名称：光学轮廓仪

品牌：Zygo

型号：NewView 9000

关键词标签：白光干涉仪，光学轮廓仪，3D轮廓仪

一、简介

    美国ZYGO 公司是一家全球公认的在亚纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最流行的白光干涉原理（性能优于激光干涉轮廓仪与激光共聚焦显微镜）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。 

二、技术规格

    垂直扫描范围：150um压电陶瓷驱动，20mn扩展

    重复性：扫描≤0.08nm

    RMS重复性：0.008nm

    横向分辨：0.34um(100X物镜)

    空间采样：0.04um(100x物镜，2倍zoom)

    扫描速度：最大171um/s

    台阶测量：重复性≤0.1%

    线性度：小于20nm或者0.1%

    样品台大小：200x200mm（其他尺寸可选）

三、应用

    纳米级别表面形貌、粗糙度测量、平面度测量、台阶及轮廓测量等。