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产品名称：显微膜厚仪
品牌：颐光Eoptics
型号：SR-M
关键词标签：显微膜厚仪、反射率、n&k
一、简介
SR-M 针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。
二、技术规格
测量参数：反射率、膜厚、n&k等参数
波长：380-900nm
分辨率：<1nm
膜厚范围：20nm-50μm
单次测量时间：<1s
重复性测量精度：<0.05nm
测量精度：0.2%或2nm取较大值
物镜倍率：5X,10X,20X,50X,100X倍可选
光斑尺寸：4-100μm
三、应用
广泛应用于各种介质膜、光刻胶等有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
