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产品名称：椭偏仪
品牌：颐光Eoptics
型号：SE-VM
关键词标签：椭偏仪、膜厚、n&k
一、简介
SE-VM 是一款超高精度快速测量光谱椭偏仪，其采用自主研发的椭偏创新技术，具备 1 双旋转补偿器同步控制技术，2 透明基底消背反技术 等领先技术。快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
二、技术规格
光谱范围：380-1000nm（190-1650nm可扩展）
入射角：55/60/65/70/75°(斜入射，手动变角)，90°(直通模式)
光斑大小：微光斑200μm
膜厚重复性测量精度：优于0.01nm（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）
折射率重复性测量精度：优于0.0005（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）
膜厚测量范围：0.5nm-15μm
单点测量时间：0.5-5s
光源：高性能进口卤素灯光源（工作寿命：2,000h）
样品尺寸：最大支持样件尺寸到Ф200mm
三、应用
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
