产品名称:汞探针CV测试仪
品牌:Four Dimensions(4D)
型号:CVMap 92A
关键词标签:掺杂浓度、汞探针,CV
一、简介
美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”,成立于1978年,位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和汞探针CV测试仪的生产和销售,累计销量达1000台以上,遍布世界各大半导体Fab化合物半导体企业,大学及科研机构。CVmap系统使用独特设计的汞探头直接在未金属化的晶圆上进行电容-电压(CV)和电流-电压(IV)测量。

二、技术规格
掺杂浓度测试范围为1E14 – 1E19/cm3。
样品尺寸:尺寸2~8英寸。
测试点数:可以满足200个点的测试。
用于测试导电衬底、绝缘衬底和高阻衬底的外延的参杂浓度。
探头为点状探头和点环状结构。
换汞频率在半年至一年,依赖于使用的频率。
三、应用
用于测试各类导电衬底、绝缘衬底和高阻衬底的外延的掺杂浓度。
