产品名称:四探针测试仪
品牌:Four Dimensions(4D)
型号:280SI/333A
关键词标签:方块电阻、四探针、电阻率
一、简介
美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”,成立于1978年,位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和CV测试仪的生产和销售,累计销量达1000台以上,遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业,大学及科研机构,“4D”更是俨然已成为四探针的代名词。

二、技术规格
测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(333系列可测量至12寸晶圆)
测量范围: 0.001Ω/sq 至 800000Ω/sq(标准型);
可往下扩展至:0.0001Ω/sq,往上扩展至8E9或8E11Ω/sq。
测量方式:电脑程序自动测量,或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示,此时非常适合测试不规整样片单点测量,适合实际研究需要。
测量的数据:方块电阻/电阻率/薄膜厚度,根据具体应用可以设置不同测量程序。
测量的点数:程序编排任意测量点位置及测量点数量,对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。
测量的精确度:<0.1% (标准模阻);
测量重复性:<0.2% (特定片子);
测量速度:>45点/分钟;
测量数据处理:根据需要显示2D,3D数值图,或按要求统计并输出Excel格式文件;
边缘修正:具有边缘修正功能,即片子边缘3mm以内区域都能测量;
探针压力可调范围:90-200克之间可调;
可供选择的探头类型:根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择。
三、应用
应用于金属镀膜和扩散,离子注入等掺杂工艺监控调试,薄膜电阻率或厚度测量等工序。
