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薄膜应力仪

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薄膜应力仪 FSM 128NT

产品时间:2022-10-31 10:23:40

简要描述:

美国Frontier Semiconductor, 简称“FSM”,FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌计量和电气表征方面拥有超过25年的经验。...

详细介绍

产品名称:薄膜应力测试仪

品牌:FSM

型号:128NT/128L/500TC

关键词:薄膜应力,StressBow

一、简介

美国Frontier Semiconductor, 简称“FSM”,FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌计量和电气表征方面拥有超过25年的经验。其率先推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆(Optilever)技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。

128NT.jpg

二、技术规格

FSM 128NT-8寸,FSM 128L-12寸

FSM 500TC-8寸,500℃

FSM 500TC 300-12寸,500℃

650nm及780nm双激光自动切换

测量点位数:每毫米大于40点

2D/3D结果显示

不带图案和带图案晶圆同样适用。

三、应用

应用于晶圆PVDCVD各类镀膜应力和Bow测试。

FSM128_Stress meter薄膜应力仪.jpg

 


 


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