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产品名称：台阶仪
品牌：Bruker
型号：Dektak XT
关键词标签：台阶仪，探针式轮廓仪
一、简介
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的无与伦比的重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业第一的技术和设计，可提供极致的性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。
1、采用成熟的 LVDT 传感器，保证数据重复性和可靠性。
2、 1-15mg探针加载力可调（可扩展到更小测力）。
3、超平扫描平台。
4、顶视光学导航系统，彩色 CCD 180x 放大倍率。
5、XY移动载物台，X≥100mm 行程,Y≥100mm 行程（可选配6寸电动样品台）。
6、完善强大的数据采集和分析系统。
二、技术规格
技术测量 | 探针式表面轮廓测量 |
样品观测 | 彩色 CCD 180x 放大倍率 |
探针传感器 | 低惯量传感器（LIS 3） |
测量力 | 1-15mg可调（可选更小测力 0.03 to 15mg） |
探针选型 | 探针曲率半径2μm，夹角60° |
平台移动范围X/Y | 手动 100mm(4 英寸)X/Y，手动调平 电动 150mm (6 英寸)X/Y，手动调平 |
样品R-θ载物台 | 手动360°连续旋转（可选配电动360°旋转） |
单次扫描长度 | 55mm（可拼接至200mm） |
最大样品厚度 | 50mm |
载物台最大晶圆尺寸 | 200mm（8英寸） |
台阶高度重复性 | 5 Å |
传感器量程 | 1mm |
垂直分辨力 | 1 Å（@6.55um） |
三、应用
台阶仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备。
用于测量台阶高度、粗糙度、纹理、翘曲和形状等。
